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真空無桿氣缸 CYV |
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| 系列/CAD |
使用環(huán)境壓力｛Pa (ABS)｝ |
缸徑 (mm) |
CYV  |
大氣～1.3×10-4 |
15,32 |
| 特長 |
- 真空環(huán)境內(nèi) (1.3×10-4Pa) 在搬運(yùn)場合可以使用的氣缸。
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門閥 XGT |
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| 系列/CAD |
使用壓力范圍 (Pa) |
使用流體 |
門尺寸
(高×寬) (mm) |
動(dòng)作壓力
(MPa) |
| XGT |
大氣壓～1×10-6 |
惰性氣體系的真空 |
32×222
46×236
50×336 |
0.45～0.6 |
| 特長 |
- 對于半導(dǎo)體裝置等場合、適合于負(fù)載鎖定室和傳送室以及傳送室和過程室之間有門閥隔開的場合。
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平穩(wěn)出氣閥 XVD |
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| 系列/CAD |
閥形式 |
使用流體 |
配管連接方式 |
配管尺寸 |
| XVD |
常斷
(加壓通/彈簧密封) |
氮?dú)狻⒖諝�、惰性氣體等 |
VCR®
Swagelok® |
1/4B |
| 特長 |
- 閥與針閥一體化結(jié)構(gòu)使配管縮短為原來的1/4。
- (閥芯)座部分采用間隙隔膜，微粒子數(shù)量大幅降低。
- 伴隨主供氣初期供氣可進(jìn)行流量調(diào)整。
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磁性開關(guān) D |
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| 系列 |
磁性開關(guān)種類 |
內(nèi)容 |
| D Series |
有觸點(diǎn)的磁性開關(guān) |
一般 (通用型) |
| 無觸點(diǎn)的磁性開關(guān) |
一般 (通用型) | |
鋁制快換接頭裝拆 高真空L型閥 XLAQ·XLDQ |
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| 系列/CAD |
動(dòng)作方式 |
軸密封形式 |
閥形式 |
材質(zhì) |
法蘭尺寸 |
| XLAQ |
氣控 |
波紋管密封 |
單作用
(N.C.) |
閥體：
鋁
波紋管：
SUS316L |
16～50 |
| XLDQ |
波紋管密封
O形圈密封 |
40,50 |
| 特長 |
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